反射高能电子衍射仪 RHEED可以*由计算机来控制.电子枪控制部分包括一个界面模块和一个软件包，这保证了RHEED的使用灵活性，和可重复性.用户自己设定的参数可以被保存并调入，通过电子束光阑可以控制电子束的开关，使用电子束摇摆特征可以调节电子束入射角度.